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助力管式爐真空密封失效？常見泄漏點排查指南

更新時間：2025-12-09      點擊次數：50
　　在高溫材料合成、熱處理及氣相沉積等實驗中，助力管式爐的真空密封性能直接關系到實驗成敗。一旦出現真空度下降、氣氛污染或壓力波動，往往意味著密封系統存在泄漏。為高效排查問題，需重點關注以下幾類常見泄漏點。
 
　　首先，爐管兩端的法蘭連接處是泄漏高發區。長期高溫循環易導致O型圈老化、變形甚至碳化，尤其使用氟橡膠(Viton)或硅膠材質時更需定期更換。建議每次實驗前檢查密封面是否清潔、平整，并涂抹適量真空脂以增強密封性。
 
　　其次，真空規管、熱電偶接口及氣體進/出氣口也是潛在漏點。這些部位常采用螺紋或快接結構，若安裝不到位或墊片破損，極易形成微小縫隙。可使用氦質譜檢漏儀進行精準定位，或在無專業設備時采用丙酮噴霧法配合真空計觀察壓力變化。
 
　　第三，爐體本身或石英/剛玉管若有裂紋，也會導致緩慢泄漏。特別是反復升降溫后，熱應力可能誘發微裂。建議定期進行保壓測試：抽至目標真空度后關閉閥門，觀察30分鐘內壓力回升速率，若明顯上升則說明存在泄漏。

 


 
　　而且，真空泵油污染或前級管道堵塞雖非“泄漏”，但常被誤判為密封失效。應確保泵油清澈、排氣通暢，并定期維護機械泵與分子泵。
 
　　綜上，建立規范的密封檢查流程、選用耐溫耐腐蝕密封材料、并輔以科學的檢漏手段，是保障助力管式爐真空系統穩定運行的關鍵。
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